半導體應用實例

晶圓映射（3）

• 定位/對準
• 半導體
• 光纖感測器

檢測晶圓框架邊緣

• 定位/對準
• 半導體
• 雷射感測器

檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況

• 定位/對準
• 半導體
• 雷射感測器

矽片錯位檢測

• 高度/台階偵測
• 半導體
• 雷射感測器

偵測雙層堆疊晶圓

• 重疊/凸起檢測
• 半導體
• 雷射感測器

偵測到通過 FOUP

• 計數/通過檢測
• 半導體
• 光電感測器

偵測玻璃/矽晶片的上緣

• 高度/台階偵測
• 半導體
• 光纖感測器

檢測玻璃晶片缺口

• 定位/對準
• 半導體
• 光纖感測器

拾取和放置過程中雙層複合薄膜的檢測

• 重疊/凸起檢測
• 半導體
• 光纖感測器

晶圓映射（2）

• 定位/對準
• 半導體
• 光纖感測器

晶圓映射（1）

• 定位/對準
• 半導體
• 光纖感測器

在腐蝕性環境中檢測晶圓

• 存在檢測
• 半導體
• 光纖感測器

檢測重疊的矽晶片

• 重疊/凸起檢測
• 半導體
• 光纖感測器

FOUP 的檢測

• 存在檢測
• 半導體
• 光纖感測器

晶圓對準控制

• 定位/對準
• 半導體
• 光纖感測器

偵測引線框架

• 計數/通過檢測
• 半導體
• 光纖感測器

控制轉盤速度

• 計數/通過檢測
• 半導體
• 光纖感測器

檢測凸出的玻璃基板

• 重疊/凸起檢測
• 半導體
• 雷射感測器

晶圓計數

• 計數/通過檢測
• 半導體
• 雷射感測器

晶圓遠端檢測

• 存在檢測
• 半導體
• 雷射感測器