晶圓對準控制

晶圓對準採用D4RF系列數位光纖感測器及NF-TK77光纖電纜進行控制。由於NF-TK77的允許彎曲半徑僅為1毫米，因此可以穿過設備中的狹窄縫隙，從而實現最小空間佈線。此外，此方法還能實現穩定的檢測，且不存在任何斷裂風險。

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