晶圓對準控制

晶圓對準是透過D4RF系列數位光纖感測器與NF-TK77光纖纜線來控制的。由於NF-TK77的光纖允許彎曲半徑僅為1毫米，因此可穿過設備中的狹窄縫隙，實現極小空間內的佈線。此外，還能確保檢測穩定，且完全不會有斷裂的風險。

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