矽片錯位檢測

BGS-HDL系列能夠偵測晶圓台上矽晶圓的錯位狀況。錯位的晶圓高度可比正常高度高出5毫米，而BGS-HDL05T則能夠偵測出0.08毫米的高度差，從而確保高精度性能。

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