偵測 FOUP 內晶圓的存在、突出及傾斜狀況

透過兩個 BGS‑HDL 感測器，可偵測 FOUP 內部的晶圓存在、突出及傾斜狀況。由於 BGS‑HDL 具備兩個控制輸出端，因此可透過輸出端 1 偵測晶圓是否存在，並透過輸出端 2 偵測是否突出。晶圓的傾斜狀況可透過左右兩側感測器輸出 1 的開/關時序來判定。

使用產品

我們的專家會迅速為您量身打造最適合的方案，並在整個過程中提供持續的支援。