檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況

FOUP內部晶圓的存在、凸起和傾斜檢測是透過兩個BGS-HDL感測器實現的。由於BGS-HDL感測器有兩個控制輸出，因此可以使用輸出1來偵測晶圓的存在，使用輸出2檢測晶圓的凸起。晶圓的傾斜度可以透過左右感測器的輸出1的開/關狀態來確定。

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