偵測 FOUP 內晶圓的存在、突出及傾斜狀況

透過兩組 BGS‑HDL 感測器，可偵測 FOUP 內部的晶圓存在狀態、突出狀況及傾斜狀況。由於 BGS‑HDL 具備兩個控制輸出端，因此可透過輸出端 1 偵測晶圓存在狀態，並透過輸出端 2 偵測突出狀況。則可透過左右兩側感測器之輸出 1 的開/關時序，來判斷晶圓的傾斜狀況。

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