CD33系列

產品系列中已新增鏡面反射型感測器，以便測量玻璃工件等透明物體，以及晶圓等鏡面物體。這意味著過去使用漫反射型感測器難以測量的透明及鏡面物體，現在都能穩定地進行測量。

• 使用鏡面反射法測量透明物體時，不僅可以測量表面位移，還可以測量厚度。如下圖所示，當雷射光束以一定角度發射時，接收元件會接收從玻璃前後表面反射的光線。透過測量這些反射光波峰之間的距離，即可實現厚度測量。

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• 該UQ1-02可連接至三菱電機 MELSEC-Q 系列的位移感測器控制單元！
  除了完全無需進行任何通訊設定外，透過專用的 UQ1 Navigator 軟體，任何人都能輕鬆地在短時間內完成設定。

  • 可與CD33系列的RS-422型號搭配使用

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• 放大器及所有控制功能均整合於感測器頭內。您無需擔心安裝至控制面板所需的空間問題。
  此外，其重量僅約 65 克，可安裝於貼片機或機械手臂等可移動部件上。

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• 能夠識別真實波形的亞像素處理

  本系統採用次像素處理技術，透過將每個C-MOS元件的像素進行分割來執行辨識。藉由精確偵測實際接收到的光波形，即可正確測量與工件之間的距離。其重複精度亦達2 μm*，並支援高精度位移測量。

  

• 高精度的靈敏度切換功能，能有效抵禦工件材質與顏色所造成的影響

  快門的開啟程度會根據工件的反射率自動調整。透過控制接收的光量，並持續校正至最佳值靈敏度，我們成功將因顏色和材質所造成的誤差降至絕對最低。