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適用於透明物體檢測的KR-Q50xW感測器，即使面對透明的FOUP，也能實現穩定的檢測。
SUS 保護器與小型 LED 感測器
業界的標準是透明物體檢測感測器
晶圓映射 (3)
偵測晶圓框架邊緣
偵測 FOUP 內晶圓的存在、突出及傾斜狀況
矽晶圓錯位檢測
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