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此款有限散射反射型NF-DC03用於晶圓測繪。其可偵測的晶圓最小厚度為 0.5 毫米。
光纖模組
用於建圖與對齊的有限距離偵測
晶圓映射 (3)
偵測晶圓框架邊緣
偵測 FOUP 內晶圓的存在、突出及傾斜狀況
矽晶圓錯位檢測
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