系列
模型
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有限漫反射型 NF-DC03 用於晶圓映射。晶圓的最小可偵測厚度為 0.5 毫米。
光纖模組
在有限距離內進行檢測，用於映射和對齊
晶圓映射（3）
檢測晶圓框架邊緣
檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況
矽片錯位檢測
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