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模型
相關內容
引線框架採用屏式（陣列式）NF-DZ01 進行偵測。由於偵測採用屏狀光束，因此不受目標中通孔的影響。
光纖模組
用於光屏檢測的光纖模組
晶圓映射（3）
檢測晶圓框架邊緣
檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況
矽片錯位檢測
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