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使用屏狀（陣列型）NF‑DZ01 檢測引線框架。由於採用屏狀光束進行檢測，不會受到檢測物上通孔的影響。
光纖模組
屏狀光束檢測用光纖模組
晶圓映射 (3)
偵測晶圓框架邊緣
偵測 FOUP 內晶圓的存在、突出及傾斜狀況
矽晶圓錯位檢測
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