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模型
相關內容
採用有限反射型 NF-DC38 檢測玻璃基板的就位情況。由於它是有限反射型的，即使 FOUP 透明，也能進行穩定的檢測。
光纖模組
在有限距離內進行檢測，用於映射和對齊
晶圓映射（3）
檢測晶圓框架邊緣
檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況
矽片錯位檢測
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