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玻璃基板的定位是透過有限反射型 NF‑DC38 來偵測的。由於屬於有限反射型，即使 FOUP 為透明材質，仍能實現穩定的偵測。
光纖模組
用於建圖與對齊的有限距離偵測
晶圓映射 (3)
偵測晶圓框架邊緣
偵測 FOUP 內晶圓的存在、突出及傾斜狀況
矽晶圓錯位檢測
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