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NF-DC39有限反射型光纖纜線用於偵測晶圓上的缺口。由於屬於有限反射型，因此不受背景干擾，僅能偵測到缺口。
光纖模組
用於建圖與對齊的有限距離偵測
晶圓映射 (3)
偵測晶圓框架邊緣
偵測 FOUP 內晶圓的存在、突出及傾斜狀況
矽晶圓錯位檢測
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