晶圓計數

系統會計數卡匣內是否含有指定數量的晶圓。透過在 2 公尺距離處設置一個直徑 2 公釐的小型光點尺寸，並具備高直線度，可確保晶圓計數過程穩定，且不受光線衍射的影響。

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