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晶圓的遠距偵測

  • 晶圓的遠距偵測

遠距雷射 BGS 感測器 TOF‑L系列可偵測機器人手臂上是否放置有晶圓。即使晶圓位置在 0 至 4.5 公尺的範圍內變化，該感測器仍能偵測到晶圓。

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  • 緊湊型、長距離 TOF 感測器

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    超緊湊型長距離偵測感測器

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