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TOF-L系列遠端雷射BGS感測器能夠偵測機器手臂上晶圓的存在。即使晶圓位置在0到4.5公尺的範圍內變化，它也能偵測到晶圓。
緊湊型、遠距離飛行時間感測器
超緊湊型遠距離檢測感測器
晶圓映射（3）
檢測晶圓框架邊緣
檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況
矽片錯位檢測
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