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BGS-HL系列可偵測雙層堆疊晶圓。 BGS-HL系列配備高解析度電子快門，可根據物體表面的反射自動調整靈敏度，可靠地偵測出光亮晶圓。
高精度雷射感測器
高解析度BGS雷射感測器
晶圓映射（3）
檢測晶圓框架邊緣
檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況
矽片錯位檢測
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