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偵測雙層堆疊晶圓

  • 偵測雙層堆疊晶圓

BGS-HL系列可偵測雙層堆疊的晶圓。BGS-HL系列配備高解析度電幕,能根據物體表面的反射情況自動調整靈敏度,從而可靠地偵測反光強烈的晶圓。

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