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DR-Q系列用於檢測透明玻璃基板的位置偏差。由於發射器和接收器同軸佈置，因此可以實現高精度定位。
雷射感測器附螢幕
易於設置，可精細調節的雷射器
晶圓映射（3）
檢測晶圓框架邊緣
檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況
矽片錯位檢測
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