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DR‑Q系列用於檢測透明玻璃基板的定位偏移。由於發射器與接收器呈同軸排列，因此能夠實現高精度的定位。
附顯示器雷射感測器
設置簡便、可精細調整的雷射
晶圓映射 (3)
偵測晶圓框架邊緣
偵測 FOUP 內晶圓的存在、突出及傾斜狀況
矽晶圓錯位檢測
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