系列
模型
相關內容
CD5 系列即使在反射不穩定的情況下，也能利用其「Tri-CORE」技術穩定地測量矽錠的尺寸。
高性能多單元雷射位移計
精度、穩定性和可操作性的更高層次整合
晶圓映射（3）
檢測晶圓框架邊緣
檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況
矽片錯位檢測
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