測量腔室內托盤膨脹情況

使用CD33-250□雷射位移感測器，透過玻璃測量濺鍍加熱腔內托盤的膨脹程度。 CD33-250□雖然價格低廉，但重複性可達75 µm，測量距離可達400 mm，因此能精確測量托盤的變形。

• 小型雷射位移計

  CD33系列

  半掌大小。非常適合與小型機器內建使用。