晶圓取向測量

CD33-L30 * 雷射位移感測器可用於測量機器人手臂上晶圓的方位。由於屬於鏡面反射型感測器，CD33-L30 * 即使面對晶圓這類鏡面反射物體，也能進行精確的方位測量。

• 小雷射位移計

  CD33系列

  約半個手掌大小。非常適合用於較小型的機器內建應用

  

• 位移感測器通訊單元

  UQ1系列

  可連接至三菱電機的PLC，此為業界首款位移感測器控制單元