晶圓取向測量

CD33-L30* 雷射位移感測器可用於測量機器手臂上晶圓的方位。由於它們是鏡面反射型感測器，因此即使對於晶圓等鏡面物體，CD33-L30* 也能實現精確的方位測量。

• 小型雷射位移計

  CD33系列

  半掌大小。非常適合與小型機器內建使用。

  

• 位移感測器通訊單元

  UQ1系列

  可連接至三菱電機PLC。業界首款位移感知器控制單元。