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CD5-W500雷射位移感測器用於測量真空腔內半導體金屬框架的翹曲。其測量範圍為500±200毫米，可透過真空腔的觀察窗進行遠距離測量。
高性能多單元雷射位移計
精度、穩定性和可操作性的更高層次整合
晶圓映射（3）
檢測晶圓框架邊緣
檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況
矽片錯位檢測
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