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FPD 修補系統的對焦控制

  • FPD 修補系統的對焦控制

透過CD33-L30雷射位移感測器測量至玻璃基板的距離，以進行顯微鏡對焦。CD33具備僅1 µm的重複精度，可低成本地實現對焦調整。

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  • 小雷射位移計

    CD33系列

    約半個手掌大小。非常適合用於較小型的機器內建應用

    CD33系列

應用半導體的範例

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