用於FPD維修系統的聚焦控制
利用 CD33-L30 雷射位移感測器測量到玻璃基板的距離，從而實現顯微鏡的聚焦。 CD33 的重複精度僅為 1 µm，因此能夠以低成本實現聚焦調節。
使用的產品
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小型雷射位移計
CD33系列
半掌大小。非常適合與小型機器內建使用。
半導體應用實例
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利用 CD33-L30 雷射位移感測器測量到玻璃基板的距離，從而實現顯微鏡的聚焦。 CD33 的重複精度僅為 1 µm，因此能夠以低成本實現聚焦調節。
小型雷射位移計
半掌大小。非常適合與小型機器內建使用。