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使用 CVS1系列檢查玻璃晶圓是否放置正確。該設備具備寬廣的視野範圍，且不會受到玻璃晶圓上水滴的影響，因此能夠進行穩定的檢測。
標準顏色感測器
經濟高效且易於安裝的彩色區域感測器
晶圓映射（3）
檢測晶圓框架邊緣
檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況
矽片錯位檢測
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