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使用 CVS1系列檢查玻璃晶圓是否放置正確。該設備具備寬廣的視野範圍，且不會受到玻璃晶圓上水滴的影響，因此能夠進行穩定的檢測。
標準色彩感測器
經濟實惠且易於設置的彩色區域感測器
晶圓映射 (3)
偵測晶圓框架邊緣
偵測 FOUP 內晶圓的存在、突出及傾斜狀況
矽晶圓錯位檢測
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