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IC/LSI共面性的測量

  • IC/LSI共面性的測量

IC/LSI的共面性是在元件拾取後測量的。 CD5-85A能夠以0.25微米的重複精度精確測量共平面性。

使用的產品

  • 高性能多單元雷射位移計

    CD5系列

    精度、穩定性和可操作性的更高層次整合

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