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測量玻璃基板的厚度及曝光光罩的高度

  • 測量玻璃基板的厚度及曝光光罩的高度

透過使用鏡面反射式 CMOS 雷射位移感測器 CD33-L30,僅需單一設定即可同時進行曝光掩模高度控制與玻璃厚度測量。 首先測量與曝光掩模之間的距離以調整最佳高度;隨後,當玻璃基板從上方通過時,即進行厚度測量。針對高透光率的玻璃基板,可從單側測量 0.7 毫米或更厚的厚度,無需採用對向配置的雙感測器佈局。

產品二手

  • 小雷射位移計

    CD33系列

    約半個手掌大小。非常適合用於較小型的機器內建應用

    CD33系列
  • 排量感測器通訊單元

    UQ1系列

    可連接至三菱電機的PLC,此為業界首款位移感測器控制單元

    UQ1系列

應用FPD/PV 的範例

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