測量玻璃基板的厚度及曝光光罩的高度

使用鏡面反射型CMOS雷射位移感測器CD33-L30，曝光遮罩高度控制與玻璃厚度測量均由單一裝置完成。測量曝光遮罩的距離以調整最佳高度;隨後，當玻璃基板通過時，測量其厚度。對於高透明玻璃基板，厚度可從一側測量0.7毫米或更大，免除對向兩感測器配置的需求。

• 小雷射位移計

  CD33系列

  半掌大小。非常適合與小型機器內建使用。

  

• 位移感測器通訊單元

  UQ1系列

  可連接至三菱電機PLC。業界首款位移感知器控制單元。