玻璃基板翹曲測量

CDX系列雷射位移感測器用於測量玻璃基板的翹曲度。鏡面反射型CDX-L15A能夠以低至0.25 μm的精度測量透明玻璃基板的翹曲。此外，其最大採樣週期僅12.5 μs，可實現高速測量，採樣速度比傳統型號快八倍。

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