測量曝光掩模的翹曲度

在掩模轉移過程中，需要測量曝光掩模與被轉移掩模之間的距離，並以此控制真空吸盤機器人，以避免對高價值掩模造成損壞。由於CD33 CMOS雷射位移感測器系列包含鏡面反射型感測器，因此可以高精度地測量透明曝光光罩的表面位置，實現無損轉移。

• 小型雷射位移計

  CD33系列

  半掌大小。非常適合與小型機器內建使用。