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檢查 PV 的位置基板

  • 檢查 PV 的位置基板

透過 LS 感測器測量矽基板的停止位置(X 方向),可將正確的位置資訊傳輸至接收裝置。此舉可避免在製程階段之間的交接過程中,造成矽基板受損。

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  • 二維的雷射位移計

    LS系列

    用於快速、精確測量高度和寬度的線束

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