웨이퍼의 장거리 감지
장거리 레이저 BGS 센서 TOF‑L 시리즈은 로봇 팔 위에 웨이퍼가 놓여 있는지 감지할 수 있습니다. 웨이퍼의 위치가 0~4.5미터 범위 내에서 변동하더라도 웨이퍼를 감지할 수 있습니다.
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소형, 장거리 TOF 센서
TOF-L 시리즈
초소형 장거리 감지 센서
활용 사례 반도체 관련 예시
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장거리 레이저 BGS 센서 TOF‑L 시리즈은 로봇 팔 위에 웨이퍼가 놓여 있는지 감지할 수 있습니다. 웨이퍼의 위치가 0~4.5미터 범위 내에서 변동하더라도 웨이퍼를 감지할 수 있습니다.
소형, 장거리 TOF 센서
초소형 장거리 감지 센서