FOUP 내 웨이퍼의 존재 여부, 돌출 및 기울기 감지
FOUP 내부의 웨이퍼 존재, 돌출, 기울기 감지는 두 개의 BGS-HDL 센서를 사용합니다. BGS-HDL은 두 개의 제어 출력을 가지고 있어 웨이퍼 존재는 출력 1로, 돌출은 출력 2로 감지할 수 있습니다. 웨이퍼 틸트는 좌우 센서 출력 1의 ON/OFF 타이밍을 통해 결정할 수 있습니다.
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고정밀도 레이저 센서
BGS-HL/BGS-HDL 시리즈
고해상도 BGS 레이저 센서
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