FOUP에서 웨이퍼의 존재, 돌출 및 기울기 감지
FOUP 내부에서 웨이퍼의 존재 여부, 돌출 정도 및 기울기를 감지하는 데에는 두 개의 BGS-HDL 센서가 사용됩니다. BGS-HDL은 두 개의 제어 출력을 가지고 있으므로 출력 1을 통해 웨이퍼의 존재 여부를 감지하고 출력 2를 통해 돌출 정도를 감지할 수 있습니다. 웨이퍼의 기울기는 좌우 센서의 출력 1의 ON/OFF 타이밍을 통해 확인할 수 있습니다.
사용된 산업
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고정밀 레이저 센서
BGS-HL/BGS-HDL 시리즈
고해상도 BGS 레이저 센서
반도체 응용 사례
- 마이리스트
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