웨이퍼 프레임 가장자리 감지

BGS-HL 시리즈는 웨이퍼 프레임의 가장자리를 감지합니다. BGS-HL25T2는 250mm 거리에서 φ1mm의 작은 스폿 사이즈 통해 웨이퍼 프레임과 같이 매우 얇은 물체도 감지할 수 있습니다.

• 고정밀 레이저 센서

  BGS-HL/BGS-HDL 시리즈

  고해상도 BGS 레이저 센서