웨이퍼 프레임의 가장자리 감지

BGS-HL 시리즈는 웨이퍼 프레임의 가장자리를 감지합니다. BGS-HL25T2는 250mm 거리에서 φ1mm의 작은 감지 영역(스팟 크기)을 갖기 때문에 웨이퍼 프레임과 같은 매우 얇은 물체도 감지할 수 있습니다.

사용 제품

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