실리콘 웨이퍼 정렬 불량 감지

BGS-HDL 시리즈은 웨이퍼 스테이지에서 실리콘 웨이퍼의 정렬 불량을 감지할 수 있습니다. 정렬이 어긋난 웨이퍼는 정상보다 최대 5mm까지 높을 수 있는 반면, BGS-HDL05T는 0.08mm의 높이 차이를 감지할 수 있어 높은 정밀도를 보장합니다.

• 고정밀도 레이저 센서

  BGS-HL/BGS-HDL 시리즈

  고해상도 BGS 레이저 센서