진공 챔버 뚜껑 개폐 확인
진공 챔버 뚜껑의 개폐, 들어올림, 기울기를 측정하는 레이저 변위 센서 CD2H 시리즈를 사용하면 누출을 사전에 방지할 수 있습니다. CD2H 시리즈는 소형 앰프 내장형 갖추고 있으면서도 최대 1,200mm의 장거리 측정이 가능합니다. 또한 IO-Link 통신 지원하여 노이즈의 영향을 받지 않는 고정밀 측정을 제공합니다.
사용된 산업
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레이저 변위 센서
CD2H 시리즈
동급 최고*, 올인원 중급 센서
반도체 응용 사례
- 마이리스트
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