웨이퍼 정렬 제어

웨이퍼 정렬은 D4RF 시리즈 디지털 광섬유 센서와 NF-TK77 광섬유 케이블을 사용하여 제어됩니다. NF-TK77은 허용 굽힘 반경이 1mm에 불과하여 장비의 좁은 틈새를 통과할 수 있으므로 최소한의 공간에서 배선이 가능합니다. 또한, 케이블 파손 위험 없이 안정적인 감지가 가능합니다.

• 화이버 유닛

  NF 시리즈 플렉시블 타입 (R1 mm, R2 mm)

  굽힘 반경 1mm 또는 2mm인 세트 나사 쉬운 화이버 유닛

  

• 화이버 센서

  D4RF/D4IF 시리즈

  읽기 쉽고 사용하기 쉬운 화이버 센서