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CD33-L30 * 레이저 변위 센서는 로봇 팔에 실린 웨이퍼의 방향을 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 이 센서는 정반사 타입 센서이므로, CD33-L30 *는 웨이퍼와 같은 거울처럼 반사되는 물체의 경우에도 정확한 방향 측정이 가능합니다.
작은 레이저 변위 센서
손바닥 절반 크기. 소형 기계에 내장하여 사용하기에 이상적입니다.
변위 센서 통신 유닛
미쓰비시 전기 PLC에 연결 가능 업계 최초의 변위 센서 제어 장치
웨이퍼 매핑 (3)
웨이퍼 프레임의 가장자리 감지
FOUP 내 웨이퍼의 존재 여부, 돌출 및 기울기 감지
실리콘 웨이퍼 정렬 불량 감지
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