웨이퍼 방향 측정

CD33-L30* 레이저 변위 센서는 로봇 팔에 장착된 웨이퍼의 방향을 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 이 센서는 정반사 타입 센서이므로 웨이퍼와 같이 표면을 반사하는 물체에 대해서도 정확한 방향 측정이 가능합니다.

• 소형 레이저 변위 센서

  CD33 시리즈

  손바닥 절반 크기. 소형 기계에 내장하여 사용하기에 이상적입니다.

  

• 변위 센서 통신 유닛

  UQ1 시리즈

  미쓰비시 일렉트릭 PLC와 연결 가능. 업계 최초의 변위 센서 제어 장치