금속 프레임의 뒤틀림 측정
CD5-W500 레이저 변위 센서는 진공 챔버 내부의 반도체 금속 프레임의 변형을 측정합니다. 500 ± 200 mm의 측정 범위를 갖는 CD5-W500은 챔버의 관찰구를 통해 장거리 측정을 가능하게 합니다.
사용된 산업
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고성능 다중 유닛 레이저 변위 센서
CD5 시리즈
정확성, 안정성 및 조작성의 차세대 통합
반도체 응용 사례
- 마이리스트
- 20
CD5-W500 레이저 변위 센서는 진공 챔버 내부의 반도체 금속 프레임의 변형을 측정합니다. 500 ± 200 mm의 측정 범위를 갖는 CD5-W500은 챔버의 관찰구를 통해 장거리 측정을 가능하게 합니다.
고성능 다중 유닛 레이저 변위 센서
정확성, 안정성 및 조작성의 차세대 통합