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FPD 수리 시스템용 초점 제어

  • FPD 수리 시스템용 초점 제어

유리 기판 까지의 거리는 CD33-L30 레이저 변위 센서를 사용하여 측정되며, 이를 통해 현미경의 초점을 맞춥니다. CD33는 1 µm에 불과한 반복 정밀도를 제공하여, 저렴한 비용으로 초점 조정이 가능합니다.

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  • 작은 레이저 변위 센서

    CD33 시리즈

    손바닥 절반 크기. 소형 기계에 내장하여 사용하기에 이상적입니다.

    CD33 시리즈

활용 사례 반도체 관련 예시

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