어닐링 깊이 제어
어닐링 깊이는 CD5 시리즈 레이저 변위 센서를 사용하여 실리콘 기판의 높이를 측정함으로써 제어됩니다. 정반사 타입 CD5-L25A는 0.37μm의 반복 정밀도로 높이를 측정할 수 있어 어닐링 깊이를 정확하게 측정하고 정밀하게 제어할 수 있습니다.
사용된 산업
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고성능 다중 유닛 레이저 변위 센서
CD5 시리즈
정확성, 안정성 및 조작성의 차세대 통합
반도체 응용 사례
- 마이리스트
- 20
어닐링 깊이는 CD5 시리즈 레이저 변위 센서를 사용하여 실리콘 기판의 높이를 측정함으로써 제어됩니다. 정반사 타입 CD5-L25A는 0.37μm의 반복 정밀도로 높이를 측정할 수 있어 어닐링 깊이를 정확하게 측정하고 정밀하게 제어할 수 있습니다.
고성능 다중 유닛 레이저 변위 센서
정확성, 안정성 및 조작성의 차세대 통합