웨이퍼 위치 편차 측정

웨이퍼의 기울기 정도는 뷰포트를 통해 측정하여 웨이퍼가 로봇 팔에 정확하게 놓였는지 확인합니다. 로봇 팔 자체를 측정함으로써 팔의 동작 정확도 또한 확인할 수 있습니다.

사용된 산업

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