이중 적층 웨이퍼 감지

BGS-HL 시리즈는 이중 적층 웨이퍼를 검출합니다. BGS-HL 시리즈는 object 표면의 반사에 따라 감도 자동으로 조절하는 고해상도 전자식 셔터를 탑재하여 광택이 있는 웨이퍼도 안정적으로 검출할 수 있습니다.

• 고정밀 레이저 센서

  BGS-HL/BGS-HDL 시리즈

  고해상도 BGS 레이저 센서