이중 적층된 웨이퍼 감지

BGS-HL (시리즈)은 이중으로 적층된 웨이퍼를 감지합니다. BGS-HL (시리즈)은 물체 표면의 반사광에 따라 감도를 자동으로 조정하는 고해상도 전기 셔터를 탑재하여, 광택이 있는 웨이퍼도 안정적으로 감지할 수 있습니다.

• 고정밀도 레이저 센서

  BGS-HL/BGS-HDL 시리즈

  고해상도 BGS 레이저 센서