透過觀察窗檢查腔室內印刷電路板的翹曲情況

在測艙內，PWB 的翹曲程度是透過CD33雷射位移感測器進行測量。由於測量是透過觀察窗進行，因此需要進行長距離測量，而CD33的測量範圍可達400 mm，即使在長距離下也能確保測量穩定。

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