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利用雷射位移感測器CD33系列進行曝光頭的 Z 軸對準。由於CD33體積小巧且重量輕,可安裝在移動中的曝光頭上,對其造成的負載極小,從而能在不影響曝光頭運動的情況下進行對準。
小雷射位移計
約半個手掌大小。非常適合用於較小型的機器內建應用
排量感測器通訊單元
可連接至三菱電機的PLC,此為業界首款位移感測器控制單元
檢查印刷電路板是否正確放置在基板上
檢查鋁框的變形情況
偵測 PWB 的存在
檢測印刷電路板
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