濺鍍靶材厚度的測量

濺鍍靶的厚度是透過CD5-30雷射位移感測器進行測量。憑藉 OPTEX FA 新開發的「Tri-CORE」技術，得以實現真正的測量穩定性。在鏡面反射模式下，該感測器可提供 0.1 µm 的重複精度，從而實現高精度測量。此技術能抑制濺鍍靶材的不平整現象，並有助於提升薄膜沉積過程中的測量精度。

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