濺鍍靶材厚度的測量

使用 CD5-30 雷射位移感測器測量濺鍍靶材的厚度。由於 OPTEX FA 新開發的「Tri-CORE」技術，實現了真正的測量穩定性。在鏡面反射模式下，此感測器可實現 0.1 µm 的重複性，從而實現高精度測量。這有效抑制了濺鍍靶材的不均勻性，並有助於提高薄膜沉積過程中的精確度。

使用的產品

我們的專家會迅速為您提供最符合您需求的方案，並在整個過程中提供持續支援。