玻璃基板的高速輪廓控制

CDX-30A 用於玻璃基板輪廓控制。其最小採樣週期僅 12.5 µs，可顯著縮短單片測量時間，從而大幅提高生產效率。

• 高性能多單元雷射位移計

  CD5系列

  精度、穩定性和可操作性的更高層次整合

  

• 位移感測器通訊單元

  UQ1系列

  可連接至三菱電機PLC。業界首款位移感知器控制單元。