高速輪廓控制玻璃基板

CDX-30A用於玻璃基板輪廓控制。憑藉最低取樣週期為12.5 µs，CDX可縮短每張紙的測量時間，從而大幅提升產能。

• 高性能多單元雷射位移計

  CD5系列

  將精準度、穩定性與操作性提升至全新層次

  

• 位移計通訊單元

  UQ1系列

  可連接至三菱電機的PLC，此為業界首款位移感測器控制單元