Detección de la presencia, protrusión e inclinación de las obleas en FOUP
La detección de la presencia, protuberancia e inclinación de la oblea dentro del FOUP se realiza mediante dos sensores BGS-HDL. Dado que el BGS-HDL dispone de dos salidas de control, la presencia de la oblea se detecta con la Salida 1 y la protuberancia con la Salida 2. La inclinación de la oblea se determina a partir de la temporización de encendido/apagado de la Salida 1 de los sensores izquierdo y derecho.
Productos utilizados
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Sensores láser de alta precisión
BGS-HL/BGS-HDL Serie
Sensor láser BGS de alta resolución
Ejemplos de aplicación para semiconductores
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