Detección de la presencia, la protrusión y la inclinación de las obleas en el FOUP
La detección de la presencia de obleas, protuberancia e inclinación dentro del FOUP se realiza usando dos sensores BGS-HDL. Como el BGS-HDL tiene dos salidas de control, la presencia de obleas puede detectarse con la Salida 1 y la protrusión con la Salida 2. La inclinación de la oblea puede determinarse a partir del tiempo de encendido/apagado de la Salida 1 de los sensores izquierdo y derecho.
Productos utilizados
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Sensores láser de alta precisión
Serie BGS-HL/BGS-HDL
Sensor láser BGS de alta resolución
Ejemplos de aplicación para semiconductores
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