Detección del borde de los marcos de las obleas
La Serie BGS-HL detecta los bordes de los marcos de las obleas. El BGS-HL25T2 puede detectar objetos muy delgados, como marcos de obleas, gracias a su pequeño tamaño de punto de φ1 mm a una distancia de 250 mm.
Productos utilizados
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Sensores láser de alta precisión
BGS-HL/BGS-HDL Serie
Sensor láser BGS de alta resolución
Ejemplos de aplicación para semiconductores
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