Detección de los bordes de los marcos de las obleas
El sistema «Serie BGS-HL» detecta los bordes de los marcos de las obleas. El sistema «BGS-HL25T2» es capaz de detectar objetos muy delgados, como los marcos de las obleas, gracias a su pequeño tamaño de punto de φ1 mm a una distancia de 250 mm.
Productos utilizados
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Sensores láser de alta precisión
Serie BGS-HL/BGS-HDL
Sensor láser BGS de alta resolución
Ejemplos de aplicación para semiconductores
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