Detección de desalineaciones en obleas de silicio

  • Detección de desalineaciones en obleas de silicio

El sistema BGS-Serie HDL permite detectar la desalineación de las obleas de silicio en una plataforma de obleas. Las obleas desalineadas pueden estar hasta 5 mm más altas de lo normal, mientras que el sistema BGS-HDL05T es capaz de detectar diferencias de altura de 0,08 mm, lo que garantiza un rendimiento de alta precisión.

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