Detección de desalineaciones en obleas de silicio
El sistema de medición de altura «Serie BGS-HDL» permite detectar la desalineación de las obleas de silicio en una plataforma de obleas. Las obleas desalineadas pueden estar hasta 5 mm más altas de lo normal, mientras que el sistema de medición de altura «BGS-HDL05T» es capaz de detectar diferencias de altura de 0.08 mm, lo que garantiza un rendimiento de alta precisión.
Productos utilizados
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Sensores láser de alta precisión
Serie BGS-HL/BGS-HDL
Sensor láser BGS de alta resolución
Ejemplos de aplicación para semiconductores
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