Detección de FOUP
La colocación del sustrato de vidrio se detecta mediante el sensor de reflexión limitada NF-DC38. Gracias a su diseño de reflexión limitada, es posible una detección estable incluso cuando el FOUP es transparente.
Productos utilizados
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Cables de fibra óptica
NF Serie, tipo de reflexión difusa limitada
Detección a distancia limitada para mapeo y alineación.
Ejemplos de aplicación para semiconductores
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