Detección de FOUP
El asiento del sustrato de vidrio se detecta usando el tipo de reflexión limitada NF-DC38. Al ser un tipo de reflexión limitada, es posible una detección estable incluso cuando el FOUP es transparente.
Productos utilizados
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Cables de fibra óptica
Serie NF Tipo de reflexión difusa limitada
Detección a una distancia limitada para la cartografía y la alineación
Ejemplos de aplicación para semiconductores
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