Medición de la expansión de la bandeja en la cámara
El grado de expansión de una bandeja dentro de la cámara de calor de pulverización catódica se mide a través del vidrio mediante un sensor de desplazamiento láser CD33-250□. A pesar de su bajo costo, el CD33-250□ logra una repetibilidad de 75 µm y puede medir a distancias de hasta 400 mm, lo que permite una medición precisa de la deformación de la bandeja.
Productos utilizados
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Pequeños Sensores de desplazamiento láser
CD33 Serie
Tamaño de media palma. Ideal para uso integrado con máquinas más pequeñas.
Ejemplos de aplicación para semiconductores
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