Medición de la orientación de la oblea
Los sensores de desplazamiento láser CD33-L30* se pueden utilizar para medir la orientación de obleas en un brazo robótico. Al ser sensores de reflexión especular, los CD33-L30* permiten una medición precisa de la orientación incluso en objetos especulares como las obleas.
Productos utilizados
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Pequeños Sensores de desplazamiento láser
CD33 Serie
Tamaño de media palma. Ideal para uso integrado con máquinas más pequeñas.
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Unidades de comunicación de sensores de desplazamiento
UQ1 Serie
Se puede conectar a PLC de Mitsubishi Electric. La primera unidad de control con sensor de desplazamiento de la industria.
Ejemplos de aplicación para semiconductores
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