Controlar la profundidad del recocido
La profundidad de recocido se controla midiendo la altura del sustrato de silicio mediante el sensor de desplazamiento láser de la Serie CD5. El sensor de reflexión especular CD5-L25A puede medir la altura con una precisión de repetición de 0,37 μm, lo que permite una medición precisa de la profundidad de recocido y un control exacto.
Productos utilizados
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Sensores de desplazamiento láser multiunidad de alto rendimiento
CD5 Serie
Integración de precisión, estabilidad y operatividad de siguiente nivel.
Ejemplos de aplicación para semiconductores
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