Medición de la desviación de la posición de la oblea
La inclinación de la oblea se mide a través del visor para comprobar si está colocada correctamente en el brazo robótico. Al medir el propio brazo robótico, también se puede verificar su precisión de movimiento.
Productos utilizados
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Sensores de desplazamiento láser multiunidad de alto rendimiento
CD5 Serie
Integración de precisión, estabilidad y operatividad de siguiente nivel.
Ejemplos de aplicación para semiconductores
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