การตรวจจับการมีอยู่ การยื่นออกมา และการเอียงของเวเฟอร์ใน FOUP

การตรวจจับการมีอยู่ การยื่นออกมา และการเอียงของเวเฟอร์ภายใน FOUP ทำได้โดยใช้เซ็นเซอร์ BGS-HDL สองตัว เนื่องจาก BGS-HDL มีเอาต์พุตควบคุมสองตัว จึงสามารถตรวจจับการมีอยู่ของเวเฟอร์ได้ด้วยเอาต์พุต 1 และตรวจจับการยื่นออกมาได้ด้วยเอาต์พุต 2 ส่วนการเอียงของเวเฟอร์สามารถกำหนดได้จากจังหวะการเปิด/ปิดของเอาต์พุต 1 ของเซ็นเซอร์ด้านซ้ายและด้านขวา

• เลเซอร์เซนเซอร์ ความแม่นยำสูง

  ซีรีส์ BGS-HL/BGS-HDL

  เซ็นเซอร์เลเซอร์ BGS ความละเอียดสูง